五维组装位移台系列

分组	XYZαβ轴(垂直)XYZαθ轴(垂直)XYZαθ轴(水平)XZαβθ轴(垂直)XZαβθ轴(水平)XYαβθ轴
行程	XYZ轴±6.5mm，上轴±5，下轴±4XYZ轴±6.5mm，α轴±5°，θ轴粗调360°，微调±5°XY轴±6.5mm，Z轴0-10mm，α轴±5°，θ轴粗调360°，微调±5°XZ轴±6.5mm，上轴±5，下轴±4，θ轴粗调360°，微调±5°X轴±6.5mm，Z轴0-10mm，上轴±5，下轴±4，θ轴粗调360°，微调±5°XY轴±6.5mm，上轴±5，下轴±4，θ轴粗调360°，微调±5°
轴的类型	XYZαβ轴（垂直）XYZαθ轴（垂直）XYZαθ轴（水平）XZαβθ轴（垂直）XZαβθ轴（水平）XYαβθ轴
驱动安装位置	左侧驱动右侧驱动中间驱动
最小读数	XYZ轴0.01mm、αβ轴0.0088°XYZ轴0.01mm、α轴0.0088°、θ轴0.0155°XZ轴0.01mm,αβ轴0.0088°、θ轴0.0155°XY轴0.01mm,αβ轴0.0088°、θ轴0.0155°
直线度（μm）	XZ轴3X轴3、Z轴5XY轴3、Z轴5XY轴3XYZ轴3
平行度（μm）	XZ轴30X轴30、Z轴60XY轴30、Z轴60XYZ轴30
移动平行度（μm）	XZ轴10X轴10、Z轴15XY轴10、Z轴15XY轴10XYZ轴10
摆动中心高（mm）	α轴50β轴50
摆动中心偏差（mm）	α轴±0.04β轴±0.04
承载力（N）	49（5.0kg）58.8（6.0kg）39.2（4.0kg）