XYθ精密光学视觉对位平台

台面尺寸（mm）	160×160150×150180×180250×250350×350450×450
行程（mm）	XY轴行程：±5mm；θ轴行程：±3°XY轴行程：±10mm；θ轴行程：±5°XY轴行程：±12mm；θ轴行程：±5°
丝杆(滚珠丝杆)	直径6导程1直径12导程5
重复定位精度（mm)	±0.001±0.003
平面度（mm)	±0.02±0.025±0.03±0.035
移动平行度（mm)	±0.03±0.04±0.045
传感器型号	GYQ-L10（NPN常闭）PM-L25感应器
马达	两相步进28电机两相步进42电机两相步进57电机
负载(kg）	305080100
净重（kg）	5.35.45.614.22226