Dimension-Labs 膜厚白光干涉分析系统能快速准确地测量各类平面、球面光学元件表面光学薄膜的物理厚度，以检验材料的光学性能是否能达到预期。与传统的光度法和椭偏仪测量相比，该系统具有测试操作简单、测试速度快、测量范围广、高性价比等优点，且体积小巧，便于集成到系统中快速检测大批量膜层。

 

l 可宽谱带测量响应，便于清晰观测到干涉效果带来的震荡曲线。

l 测试速度块、响应灵敏、样品摆放即可得到测量曲线，快速获得膜厚信息。

l 采用积分球可空间立体角采集信号，采集信号完全且避免空间光干扰。

l 组件灵活可变，操作简单，容易拓展功能，且可集成到多种测量系统。

 

测试系统：膜厚测试系统      测试软件：Dimension-Labs/SpecView

 

 

1.光纤光谱仪

在膜厚测量系统中，Dimension-Labs建议使用通用型和高灵敏型光纤光谱仪、可以实现350-1050 nm的宽谱测量以及1.3 nm的分辨能力，满足对膜厚测试使用的基本需求，并可以根据不同光谱仪型号实现更优的性能。

 

2.宽带光源

深紫外区域由干涉效应带来的曲线震荡会过于密集，不便于分辨波峰波谷数值用于计算膜厚，建议使用卤钨光源350-2500 nm，可有效采集由薄膜干涉效果带来的震荡效果曲线，Dimension-Labs同样提供不同功率输出的光源以满足不同样品的使用需求。

 

3.反射式积分球

为了完全采集由镀膜材料对光源的镜面反射与漫反射光线，采用反射式积分球可以完美解决这一问题，光线经过多次均化确保积分球每处光强相等，也避免了光谱仪采集时出现过饱和现象。

 

 

【测量数据和数据处理】

 

图（1）a: 0.5 μm；b:2 μm  ${\mathrm{SiO}}_2$膜层测量

基于Dimension反射测量系统所测得Si基底氧化层SiO2厚度的谱图数据展示在图（1）中，基于测试原理很好印证了膜层越厚所带来的震荡效果越剧烈，而膜层越薄所带来的震荡效果越平稳，所以基于白光干涉法测量膜厚有探测精度下限。基于SiO2折射率受波长的影响，约为1.5,用于计算图（1）中所测得膜厚数值为1998 nm与483 nm，测试结果与实际样品相符，基于此种测量方法需要清晰样品对应的折射率，则否会影响计算结果。