特性：
- 毫秒级响应速度；
- 纳米级定位精度和分辨率；
- 结构紧凑无机械传动部件；
- 适用于高精度微操作应用场景。
Dimension-Labs 压电螺钉位移台是一种基于压电效应实现高精度微位移控制的精密运动器件，广泛应用于半导体制造、光学调整、生物医学、精密测量等对位移精度要求严苛的领域。其核心设计围绕 “压电驱动 + 螺钉传动” 的复合结构展开，既保留了压电材料的微纳级驱动精度，又通过螺钉机构优化了位移输出的稳定性与负载能力。
从工作原理来看，它以压电陶瓷为核心驱动元件 —— 当对压电陶瓷施加特定电压时，材料会产生与电压成比例的微小形变（逆压电效应），该形变通过螺钉传动机构（如精密滚珠丝杠、压电陶瓷内置式螺钉）转化为位移台的线性或旋转运动。相较于传统电动位移台，其突出优势在于位移分辨率极高（通常可达纳米甚至亚纳米级）、响应速度快（毫秒级动态响应）、运动无回程间隙，同时具备优异的位置保持能力（断电后仍可稳定保持当前位置，无需额外锁死机构）。
在结构设计上，压电螺钉位移台通常采用模块化架构，主要包含四部分：一是压电驱动单元，多为预压式压电陶瓷叠堆，可提供稳定的推力输出；二是螺钉传动组件，采用高精度加工的螺钉与螺母副，确保形变传递的线性度与重复性；三是导轨与导向机构（如交叉滚子导轨、柔性铰链），限制多余自由度，保证位移运动的直线度或旋转精度；四是位置反馈单元，部分高端型号集成光栅尺、电容传感器等反馈元件，通过闭环控制进一步提升位移精度（定位误差可控制在几纳米以内）。
在性能参数方面，其关键指标包括位移量程（通常从几十微米到几毫米，部分型号可扩展至厘米级）、分辨率（0.1-10nm）、最大负载（从几牛到数百牛，依结构设计差异）、运动轴数（单轴、双轴、三轴及多轴组合，满足不同空间调整需求）。此外，为适配不同应用场景，部分产品还具备真空兼容（10⁻⁶Pa 以下）、防磁、低温适应（-270℃至常温）等特殊设计，可在极端环境下稳定工作。
应用场景中，压电螺钉位移台凭借高精度特性，在半导体光刻中用于晶圆定位与镜头微调，在光学实验中实现光路对准与焦距精细调节，在生物医学领域用于细胞操作、原子力显微镜（AFM）的样品台驱动，同时也在精密测量仪器（如激光干涉仪）中作为标准位移发生装置，为高精度检测提供基准。
